大家好， 想请问大家问题， 有一个 RIE 的装置， 其中 RF 的 Generator 都会搭 Matching Box， 想问大家，为什麽 RF 都要搭 Matching Box， 我上网看的资料好像要跟机器内部的阻抗做搭配， 不然 RF 可能会对机器内部造成伤害， 不过我一直不太了解，为什麽要跟 Matching Box， 它是利用什麽原理，最好可以说明 Matching Box 的 tune 及 load 的功用， 请大家帮我解答。 另的一个问题， RIE 的装置偶尔 run 到一半就停住了， 本人是猜测有可能是 Matchinb Box 跟机器连结 cable 有问题， 可是若是 cable 有问题的话，应该就是坏了就是坏了， 不会是这一次坏了，再测试一遍又好了。 结果经过一两个月又发生 alarm， 本人的问题是， cable 有机会，这一次突然负载过大， 结果接着测试又好了，又慢慢累积负载，结果经过一两个月才发生 alarm。 另外，有办法可以测试 cable 是不是真的有老化或者有损坏的方法。 请大家帮我解答问题， 谢谢！ --

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