作者Goodgybank (學不會)
看板Electronics
標題[問題] TSMC90nm MIM layout問題
時間Sat Feb 28 16:56:36 2015
因為沒有MIM電容的cell可以直接叫
因此想自己畫一個MIM來用
但現在遇到一些問題，想請問一下
我照之前0.18um的經驗畫了一個MIM
基本上0.18um只有CTM，而90nm多了CBM這個
因此我就照了0.18的畫法
M8當作bottom metal，M9當作top metal，且各自都加上了CBM及CTM
裡面用M8 via連接，然後最外層也框上綠色的CTMdummy
跑完DRC可以過
但是跑LVS時候，出現問題
http://ppt.cc/DygL
找不到top節點，不確定是不是還漏畫了一些層呢? (去定義他是一個MIM的capacitor)
layout的話pin點都有打上
netlist檔就簡單敘述，然後subckt包起來而已
C1 top bot 1pF
想請問知道MIM大概怎麼畫
或是有經驗的板友能夠指點我一下
謝謝!!
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1F：→ Goodgybank: 只要是lvs report裡面有waring說我的這個cell 02/28 19:30
2F：→ Goodgybank: 他M8M9層是short circuit 因此不知道是否漏畫了東西 02/28 19:31
3F：推 baoerking: 裡面用M8 via連接?? 03/02 08:44
因為我是看.18um他M5跟M6有用via連接
因此把90的M8M9 via也畫上去
不過剛剛把via remove掉 就只剩下一個instance C1錯
感覺他似乎還是不認定我畫的是一個MIM的cap cell
※ 編輯: Goodgybank (140.113.169.128), 03/02/2015 20:08:14
4F：→ kerkerker: .18畫via56是要把CTM連到M6，不是把M5和M6接在一起 03/02 21:12
5F：→ Goodgybank: 所以MIM用的via 跟一般metal用的via是不同的?Y 03/03 10:16
6F：→ Goodgybank: 但我找了一下 好像沒有其他Via能畫 也沒Via89這東西 03/03 10:17
8F：→ kerkerker: 這是.18的結構，via是一樣的，只是因為有CTM這層金屬夾 03/03 16:34
9F：→ kerkerker: 在中間，所以不是M5接M6。 03/03 16:36
10F：→ kerkerker: 左側示意圖則是一般的M5接M6 03/03 16:36