作者Goodgybank (学不会)
看板Electronics
标题[问题] TSMC90nm MIM layout问题
时间Sat Feb 28 16:56:36 2015
因为没有MIM电容的cell可以直接叫
因此想自己画一个MIM来用
但现在遇到一些问题，想请问一下
我照之前0.18um的经验画了一个MIM
基本上0.18um只有CTM，而90nm多了CBM这个
因此我就照了0.18的画法
M8当作bottom metal，M9当作top metal，且各自都加上了CBM及CTM
里面用M8 via连接，然後最外层也框上绿色的CTMdummy
跑完DRC可以过
但是跑LVS时候，出现问题
http://ppt.cc/DygL
找不到top节点，不确定是不是还漏画了一些层呢? (去定义他是一个MIM的capacitor)
layout的话pin点都有打上
netlist档就简单叙述，然後subckt包起来而已
C1 top bot 1pF
想请问知道MIM大概怎麽画
或是有经验的板友能够指点我一下
谢谢!!
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1F：→ Goodgybank: 只要是lvs report里面有waring说我的这个cell 02/28 19:30
2F：→ Goodgybank: 他M8M9层是short circuit 因此不知道是否漏画了东西 02/28 19:31
3F：推 baoerking: 里面用M8 via连接?? 03/02 08:44
因为我是看.18um他M5跟M6有用via连接
因此把90的M8M9 via也画上去
不过刚刚把via remove掉 就只剩下一个instance C1错
感觉他似乎还是不认定我画的是一个MIM的cap cell
※ 编辑: Goodgybank (140.113.169.128), 03/02/2015 20:08:14
4F：→ kerkerker: .18画via56是要把CTM连到M6，不是把M5和M6接在一起 03/02 21:12
5F：→ Goodgybank: 所以MIM用的via 跟一般metal用的via是不同的?Y 03/03 10:16
6F：→ Goodgybank: 但我找了一下 好像没有其他Via能画 也没Via89这东西 03/03 10:17
8F：→ kerkerker: 这是.18的结构，via是一样的，只是因为有CTM这层金属夹 03/03 16:34
9F：→ kerkerker: 在中间，所以不是M5接M6。 03/03 16:36
10F：→ kerkerker: 左侧示意图则是一般的M5接M6 03/03 16:36