作者justtoothick (負八)
看板Electronics
標題[問題] 想請教半導體設備的製程相關問題
時間Mon Jan 12 12:03:41 2015
想請教一下半導體設備達人
小弟我現在就職於以turbo pump維修為主的公司
客戶大部分都是半導體廠，目前知道的部門有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD
從他們公司來的pump常常會有很多製程物沉積在上面
想請問這些沉積物主要可以分為哪幾種呢?(可以從顏色或其他特徵來區分嗎?)
那半導廠在保養機台的時候，是否有特定的溶劑去對機台進行清理呢?
有的話是哪些溶劑呢?(應該不同製程有對應不同的溶劑吧?!)
希望知道的大大可以分享一下
謝謝
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1F：推 PTTpttPTpt: 沒有實質做過Turbo pump維修並不清楚業界真正的清潔法 01/12 16:10
2F：→ PTTpttPTpt: 但基本上那些沈積物什麼東西都有可能,而且或多或少有 01/12 16:11
3F：→ PTTpttPTpt: 毒. 建議直接用酸吃掉pump本身最表面的金屬就好 01/12 16:11
4F：→ PTTpttPTpt: 但Turbo會用的材質通常都耐酸...所以到底是用什麼比 01/12 16:12
5F：→ PTTpttPTpt: 較好實在是不知道 01/12 16:12
6F：→ lwhs: 以前在實驗室都用工業用丙醇 01/12 17:27
7F：推 FTICR: 可是turbo pump的葉片大部分是鋁的 用酸可能有問題 01/12 20:29
8F：推 jfsu: 實驗室是用Actone去擦拭~ 01/13 01:40
9F：推 lwhs: 大部分用 丙酮 沒錯 我記成丙醇 01/13 22:32