作者justtoothick (负八)
看板Electronics
标题[问题] 想请教半导体设备的制程相关问题
时间Mon Jan 12 12:03:41 2015
想请教一下半导体设备达人
小弟我现在就职於以turbo pump维修为主的公司
客户大部分都是半导体厂，目前知道的部门有TF,DIFFUSION, ETCH, CVD
从他们公司来的pump常常会有很多制程物沉积在上面
想请问这些沉积物主要可以分为哪几种呢?(可以从颜色或其他特徵来区分吗?)
那半导厂在保养机台的时候，是否有特定的溶剂去对机台进行清理呢?
有的话是哪些溶剂呢?(应该不同制程有对应不同的溶剂吧?!)
希望知道的大大可以分享一下
谢谢
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc), 来自: 219.80.66.91
※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/Electronics/M.1421035424.A.85E.html
1F：推 PTTpttPTpt: 没有实质做过Turbo pump维修并不清楚业界真正的清洁法 01/12 16:10
2F：→ PTTpttPTpt: 但基本上那些沈积物什麽东西都有可能,而且或多或少有 01/12 16:11
3F：→ PTTpttPTpt: 毒. 建议直接用酸吃掉pump本身最表面的金属就好 01/12 16:11
4F：→ PTTpttPTpt: 但Turbo会用的材质通常都耐酸...所以到底是用什麽比 01/12 16:12
5F：→ PTTpttPTpt: 较好实在是不知道 01/12 16:12
6F：→ lwhs: 以前在实验室都用工业用丙醇 01/12 17:27
7F：推 FTICR: 可是turbo pump的叶片大部分是铝的 用酸可能有问题 01/12 20:29
8F：推 jfsu: 实验室是用Actone去擦拭~ 01/13 01:40
9F：推 lwhs: 大部分用 丙酮 没错 我记成丙醇 01/13 22:32