作者ccitmdl (浩克~~HULK)
看板Electronics
標題Re: [問題] LED製程機枱
時間Wed Mar 2 08:29:52 2011
※ 引述《jfsu (水精靈)》之銘言：
: ※ 引述《gamesame7711 (框框)》之銘言：
: : 或許你的問題大家看不懂...所以一直沒人替你解答吧...
: : 你的問題是想問說，LED需要哪些製程機器的意思嗎?
: : 如果是的話，不針對封裝這個步驟來說...
: : 金屬蒸鍍機(e-beam,thermal)
: 這機台要看你的真空腔體(chamber)用多大，你可以自己google或百度一下這機台的廠商
: 有的約半個人高，有的有一個人高，長寬與是你雙手合抱的範圍內。
恩~~雙手合抱的範圍內~~~這台E-GUN還蠻小台的
我不清楚其他廠是怎麼樣，但是我們廠是沒有thermal
: 當然囉，別忘了真空幫浦...XD，
: : 磊晶機(MOCVD)
: : 以及一台最重要的...但是我不曉得這機器叫什麼名字，這機器功能是沉積MQW
長MQW的 就是MOCVD阿!!!
: : 還有一些黃光設備跟熱處理設備
: : 大致上有這些
: MOCVD就非常大一台，約是半個汽車車身的長/寬，
我的MOCVD就比車子還長 寬度差不多，看來你的MOCVD也蠻小台的
高度~我194公分 我還勾不到頂
: MQW是量子井的簡稱嗎?如果是，那你說的應該是MBE(分子束磊晶)這台機械
LED廠都用MOCVD在長MQW啦~~~MBE太傷本了啦 產出又少
: 黃光設備就是幾台旋轉塗佈機(上光阻與其他可以形成薄膜用的)或是超音波震洗器...
: 簡單一點的大概像大同電鍋3~5人份的大小，
最重要的"曝光機"還有stepper您沒講到
: 熱處理設備應該就是RTA(快速熱退火)，就長長的，約莫像是班用機槍M249大小
可能是我少見多怪，ＲＴＡ我還沒見過長長的
聽您的形容比較像是高溫爐管的說
兩者有不小的差距！！
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◆ From: 58.115.109.177
1F：→ ccitmdl:喔~~對了 還有ICP沒講到呢!! 廠內的都不小台呢!! 03/02 08:39
2F：推 gamesame7711:借專業請問一下 成長MQW也是MOCVD 所以成長GaN也是!? 03/03 01:05
3F：→ gamesame7711:我打錯了 成長GaN是MOCV 而MQW也是嗎!? 03/03 01:33
4F：→ ccitmdl:ㄜ~~~MQW是LED結構中的一層~~LED整個結構都是用MOCVD生長 03/03 08:20
5F：→ ccitmdl:在一般藍光LED中 MQW就是由GaN-based材料所組成的阿 03/03 08:23
6F：推 gamesame7711:不需要用特別的機器成長嗎? 03/03 15:24
7F：→ gamesame7711:我記得裡面有參雜鋁 銦等東西 這些mocvd也可以進行嗎 03/03 15:25
8F：推 gamesame7711:喔喔 我找到解答了 我目前還是學術界 所以學得是MBE 03/03 15:27
9F：→ ccitmdl:就算在學術界~~MBE也要把MQW拿出來另外長嗎?? 03/03 19:27
10F：→ ccitmdl:應該不用吧!難道 MBE要長AlGaN或InGaN 也要拿出來另外長嗎 03/03 19:28
11F：→ ccitmdl:恩~~~MBE我只是略懂, 我的本業是MOCVD阿!! 03/03 19:30