作者ccitmdl (浩克~~HULK)
看板Electronics
标题Re: [问题] LED制程机枱
时间Wed Mar 2 08:29:52 2011
※ 引述《jfsu (水精灵)》之铭言：
: ※ 引述《gamesame7711 (框框)》之铭言：
: : 或许你的问题大家看不懂...所以一直没人替你解答吧...
: : 你的问题是想问说，LED需要哪些制程机器的意思吗?
: : 如果是的话，不针对封装这个步骤来说...
: : 金属蒸镀机(e-beam,thermal)
: 这机台要看你的真空腔体(chamber)用多大，你可以自己google或百度一下这机台的厂商
: 有的约半个人高，有的有一个人高，长宽与是你双手合抱的范围内。
恩~~双手合抱的范围内~~~这台E-GUN还蛮小台的
我不清楚其他厂是怎麽样，但是我们厂是没有thermal
: 当然罗，别忘了真空帮浦...XD，
: : 磊晶机(MOCVD)
: : 以及一台最重要的...但是我不晓得这机器叫什麽名字，这机器功能是沉积MQW
长MQW的 就是MOCVD阿!!!
: : 还有一些黄光设备跟热处理设备
: : 大致上有这些
: MOCVD就非常大一台，约是半个汽车车身的长/宽，
我的MOCVD就比车子还长 宽度差不多，看来你的MOCVD也蛮小台的
高度~我194公分 我还勾不到顶
: MQW是量子井的简称吗?如果是，那你说的应该是MBE(分子束磊晶)这台机械
LED厂都用MOCVD在长MQW啦~~~MBE太伤本了啦 产出又少
: 黄光设备就是几台旋转涂布机(上光阻与其他可以形成薄膜用的)或是超音波震洗器...
: 简单一点的大概像大同电锅3~5人份的大小，
最重要的"曝光机"还有stepper您没讲到
: 热处理设备应该就是RTA(快速热退火)，就长长的，约莫像是班用机枪M249大小
可能是我少见多怪，ＲＴＡ我还没见过长长的
听您的形容比较像是高温炉管的说
两者有不小的差距！！
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◆ From: 58.115.109.177
1F：→ ccitmdl:喔~~对了 还有ICP没讲到呢!! 厂内的都不小台呢!! 03/02 08:39
2F：推 gamesame7711:借专业请问一下 成长MQW也是MOCVD 所以成长GaN也是!? 03/03 01:05
3F：→ gamesame7711:我打错了 成长GaN是MOCV 而MQW也是吗!? 03/03 01:33
4F：→ ccitmdl:ㄜ~~~MQW是LED结构中的一层~~LED整个结构都是用MOCVD生长 03/03 08:20
5F：→ ccitmdl:在一般蓝光LED中 MQW就是由GaN-based材料所组成的阿 03/03 08:23
6F：推 gamesame7711:不需要用特别的机器成长吗? 03/03 15:24
7F：→ gamesame7711:我记得里面有参杂铝 铟等东西 这些mocvd也可以进行吗 03/03 15:25
8F：推 gamesame7711:喔喔 我找到解答了 我目前还是学术界 所以学得是MBE 03/03 15:27
9F：→ ccitmdl:就算在学术界~~MBE也要把MQW拿出来另外长吗?? 03/03 19:27
10F：→ ccitmdl:应该不用吧!难道 MBE要长AlGaN或InGaN 也要拿出来另外长吗 03/03 19:28
11F：→ ccitmdl:恩~~~MBE我只是略懂, 我的本业是MOCVD阿!! 03/03 19:30