※ 引述《ycc01 (ycc01)》之銘言： : 請問每次操作SEM為什麼都要再添加液態氮? : 我知道SEM內部的真空度要求非常低 : 如果沒有加液態氮是否會發生真空度下不去的現象?(或是說要抽很久才會下去) : 為什會這樣? : 液態氮跟真空度有什麼關西? 你可以參考一下真空技術的書，裡頭都有講，在此我約略說明一下。 加液態氮可以冷卻周圍的溫度，使空氣分子不要太活潑，這樣比較好讓幫浦(pump) 吸附補捉並抽走。(空氣分子中最難抽的就是水氣與惰性氣體。)如果你不加LN，基本上 就算你抽上幾天的時間，腔體內還是維持在某真空度。 再者，並不是每種幫浦都可以一次抽到高真空的狀態，所以系統至少會使用兩種幫浦。 前段使用粗抽幫浦從大氣抽至10E-3~10E-4 托耳(torr)，後段再利用高真空邦浦從10E-4 來抽氣至高真空。後段所使用的可能是擴散幫浦(diffusion pump)、冷凍幫浦(cryo pump)或是其他高真空幫浦，此時會了能往下抽下去，就必須加入液態氮，加入的量 與次數都有一定的條件。 --

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