※ 引述《ycc01 (ycc01)》之铭言： : 请问每次操作SEM为什麽都要再添加液态氮? : 我知道SEM内部的真空度要求非常低 : 如果没有加液态氮是否会发生真空度下不去的现象?(或是说要抽很久才会下去) : 为什会这样? : 液态氮跟真空度有什麽关西? 你可以参考一下真空技术的书，里头都有讲，在此我约略说明一下。 加液态氮可以冷却周围的温度，使空气分子不要太活泼，这样比较好让帮浦(pump) 吸附补捉并抽走。(空气分子中最难抽的就是水气与惰性气体。)如果你不加LN，基本上 就算你抽上几天的时间，腔体内还是维持在某真空度。 再者，并不是每种帮浦都可以一次抽到高真空的状态，所以系统至少会使用两种帮浦。 前段使用粗抽帮浦从大气抽至10E-3~10E-4 托耳(torr)，後段再利用高真空邦浦从10E-4 来抽气至高真空。後段所使用的可能是扩散帮浦(diffusion pump)、冷冻帮浦(cryo pump)或是其他高真空帮浦，此时会了能往下抽下去，就必须加入液态氮，加入的量 与次数都有一定的条件。 --

※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc) ◆ From: 61.64.86.86