作者saram (saram)
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標題Re: [請益] 請教有關真空的問題쌊時間: Fri Feb 22 22:02:53 2008
※ 引述《chafe (追風的呆子)》之銘言：
: 1.真空系統包含哪些部分? 如何動作?
: 2.半導體設備常用的抽氣幫浦有幾種? 如何動作?
半導體業幾乎不用油幫浦, 大多使用乾式幫浦.
也不用油擴散幫浦, 以防止油氣分子回流到腔體, 汙染了
被鍍物體. 目前高真空抽氣階段使用冷凍幫浦, 離子幫浦.
: 請專長大大簡單介紹一下, 感謝!!
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