作者saram (saram)
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标题Re: [请益] 请教有关真空的问题쌊时间: Fri Feb 22 22:02:53 2008
※ 引述《chafe (追风的呆子)》之铭言：
: 1.真空系统包含哪些部分? 如何动作?
: 2.半导体设备常用的抽气帮浦有几种? 如何动作?
半导体业几乎不用油帮浦, 大多使用乾式帮浦.
也不用油扩散帮浦, 以防止油气分子回流到腔体, 污染了
被镀物体. 目前高真空抽气阶段使用冷冻帮浦, 离子帮浦.
: 请专长大大简单介绍一下, 感谢!!
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