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標 題Re: [問題] 請教半導體的問題?
發信站清華資訊(楓橋驛站) (Fri Mar 11 19:57:47 2005)
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※ 引述《[email protected] (titan)》之銘言：
> 問題一 ： 為何製作MOS元件時採用（100）之晶圓??
> 問題二 ： 為何製作BJT元件時採用（111）之晶圓??
> 請教各位大大?? 謝謝
那是因為長晶的問題..111的經向腳比較多..比較好長..
但是相對的你接腳越多..對於MOS那種電子都在表面跑的元件來說..
接腳越多形成缺陷的機率也越高..那些缺陷會引發很多不好的效應..
在此不多加說明..所以MOS都用100來作..
而BJT的電子多半是縱向傳輸..換句話說他的電子是像水龍頭一樣由上往下灌..
對於晶格缺陷容忍度比較高大部分會用111..但是高性能的BJT通常在Base的地方
也不會真的用111下去作..反而是另外長一層品質比較好的Si..
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※ Origin: 楓橋驛站<bbs.cs.nthu.edu.tw> ◆ From: microwave15.ee.nthu.edu.tw