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标 题Re: [问题] 请教半导体的问题?
发信站清华资讯(枫桥驿站) (Fri Mar 11 19:57:47 2005)
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※ 引述《[email protected] (titan)》之铭言：
> 问题一 ： 为何制作MOS元件时采用（100）之晶圆??
> 问题二 ： 为何制作BJT元件时采用（111）之晶圆??
> 请教各位大大?? 谢谢
那是因为长晶的问题..111的经向脚比较多..比较好长..
但是相对的你接脚越多..对於MOS那种电子都在表面跑的元件来说..
接脚越多形成缺陷的机率也越高..那些缺陷会引发很多不好的效应..
在此不多加说明..所以MOS都用100来作..
而BJT的电子多半是纵向传输..换句话说他的电子是像水龙头一样由上往下灌..
对於晶格缺陷容忍度比较高大部分会用111..但是高性能的BJT通常在Base的地方
也不会真的用111下去作..反而是另外长一层品质比较好的Si..
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