作者intjwtf (我被外星人綁架了)
看板Chemistry
標題[請益]高熵材料有作為EUV光阻劑材料的潛力嗎？
時間Thu Aug 8 03:20:47 2019
新一代光阻劑目前趨勢是朝metal containing resist發展，大概就是日本那幾家廠商的專
利，主流的CAR應該已經到半導體製程極限了
好奇問一下，高熵金屬材料有作為EUV光阻劑的潛力嗎？高熵合金氧化物的研究已經滿多的
，但關於光刻製程應用方面的討論好像很少？
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1F：推 FTICR: 非這個領域好奇問一下，PR加金屬或含金屬的PR會帶來什麼優 08/08 11:49
2F：→ FTICR: 點呢? 08/08 11:49