作者intjwtf (我被外星人绑架了)
看板Chemistry
标题[请益]高熵材料有作为EUV光阻剂材料的潜力吗？
时间Thu Aug 8 03:20:47 2019
新一代光阻剂目前趋势是朝metal containing resist发展，大概就是日本那几家厂商的专
利，主流的CAR应该已经到半导体制程极限了
好奇问一下，高熵金属材料有作为EUV光阻剂的潜力吗？高熵合金氧化物的研究已经满多的
，但关於光刻制程应用方面的讨论好像很少？
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1F：推 FTICR: 非这个领域好奇问一下，PR加金属或含金属的PR会带来什麽优 08/08 11:49
2F：→ FTICR: 点呢? 08/08 11:49