作者Ni1229 (妮妮)
看板Chemistry
標題[問題] tmah蝕刻的機構
時間Mon Feb 9 11:50:21 2015
哈囉 大家好
我想請問大家
tmah這個base是如何吃掉有機光阻材料
有化學的反應機構嗎
謝謝大家的解惑
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1F：→ kdjf: 光阻大多是有機酸,沒有交連的就溶於鹼 02/09 12:55