作者Ni1229 (妮妮)
看板Chemistry
标题[问题] tmah蚀刻的机构
时间Mon Feb 9 11:50:21 2015
哈罗 大家好
我想请问大家
tmah这个base是如何吃掉有机光阻材料
有化学的反应机构吗
谢谢大家的解惑
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1F：→ kdjf: 光阻大多是有机酸,没有交连的就溶於硷 02/09 12:55