作者zzxxzz (射☆惹ㄦ!!!!!!)
看板Chemistry
標題Re: [實驗] 選用洗基板的有機溶劑
時間Sun Apr 6 11:52:54 2014
丙酮和甲醇含水量都很高，
IPA與水產生共沸azeotrope bp 80 oC
再用氣槍吹掉共沸物會比只用丙酮乾淨。
HAGIMOTO Y., TETSUKA T., IWAMOTO H., et al., “Elucidation of an
isopropyl alcohol (IPA) adsorption phenomenon on a wafer surface for achieving
an ultra-clean and IPA-saving drying process in the batch cleaning system”,
Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS) Conference Proceedings,
Session 11, Ostend, Belgium, September 2010.
我做小分子的玻璃清潔流程是
NaOH+IPA+MeOH泡一晚→水沖洗烘乾
大分子的流程是
該分子可溶溶劑泡一晚→肥皂水刷洗→去離子水沖→丙酮洗四次→晾乾或六十度烘乾
都不用用到IPA，可能電子材料比較怕水殘留吧。
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God bless you.
寬恕是病人與上帝的事 我的工作是安排他們見面 ▁▂▄▂▁/ ◣
獸 醫 ◎..◎ \
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1F：推 funkyskyman:謝謝你的意見:） 但是我怕ＮaOH會腐蝕SiO2 還是其實 04/06 21:14
2F：→ funkyskyman:還好? 04/06 21:14
3F：→ zzxxzz:會喔 不行用naoh 04/07 00:21