作者zzxxzz (射☆惹ㄦ!!!!!!)
看板Chemistry
标题Re: [实验] 选用洗基板的有机溶剂
时间Sun Apr 6 11:52:54 2014
丙酮和甲醇含水量都很高，
IPA与水产生共沸azeotrope bp 80 oC
再用气枪吹掉共沸物会比只用丙酮乾净。
HAGIMOTO Y., TETSUKA T., IWAMOTO H., et al., “Elucidation of an
isopropyl alcohol (IPA) adsorption phenomenon on a wafer surface for achieving
an ultra-clean and IPA-saving drying process in the batch cleaning system”,
Ultra Clean Processing of Silicon Surfaces (UCPSS) Conference Proceedings,
Session 11, Ostend, Belgium, September 2010.
我做小分子的玻璃清洁流程是
NaOH+IPA+MeOH泡一晚→水冲洗烘乾
大分子的流程是
该分子可溶溶剂泡一晚→肥皂水刷洗→去离子水冲→丙酮洗四次→晾乾或六十度烘乾
都不用用到IPA，可能电子材料比较怕水残留吧。
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宽恕是病人与上帝的事 我的工作是安排他们见面 ▁▂▄▂▁/ ◣
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1F：推 funkyskyman:谢谢你的意见:） 但是我怕ＮaOH会腐蚀SiO2 还是其实 04/06 21:14
2F：→ funkyskyman:还好? 04/06 21:14
3F：→ zzxxzz:会喔 不行用naoh 04/07 00:21