作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站內Chemistry
標題[實驗] Si 的等向性蝕刻
時間Thu May 15 23:23:46 2008
請問大家一下有什麼溶液可以等向性蝕刻Si呢
拜託各位摟
謝謝阿
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Ｉｔ'ｓ Ｍｙ Ｌｉｆｅ
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc)
◆ From: 218.166.11.21
1F：→ satrbb:應該是先用硝酸氧化成氧化矽 再用HF去蝕刻 05/16 01:46
2F：→ savior:可以查 HNA 或 silicon bulk micromachining 05/18 15:06
3F：→ savior:HNA的原理就是一樓所說的反應機制 05/18 15:07