作者jovibon ( Ｏ ＹＡ)
站内Chemistry
标题[实验] Si 的等向性蚀刻
时间Thu May 15 23:23:46 2008
请问大家一下有什麽溶液可以等向性蚀刻Si呢
拜托各位搂
谢谢阿
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Ｉｔ'ｓ Ｍｙ Ｌｉｆｅ
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 218.166.11.21
1F：→ satrbb:应该是先用硝酸氧化成氧化矽 再用HF去蚀刻 05/16 01:46
2F：→ savior:可以查 HNA 或 silicon bulk micromachining 05/18 15:06
3F：→ savior:HNA的原理就是一楼所说的反应机制 05/18 15:07