作者razzmatazz (razzmatazz)
看板Chemistry
標題Re: [實驗] 請問關於RCA Standard Clean 2 (SC-2， …
時間Tue Feb 12 19:58:20 2008
※ 引述《tinne (風翎)》之銘言：
: 請問各位,今天我要泡清洗Si晶圓的SC2溶液:
: HCl (37 wt%):H2O2 (31 wt%):H2O (DI Water) = 1：1：6
: 我印象中鹽酸跟雙氧水會產生氯氣
: 不知道以上這個溶液 是不是在去離子水中加入雙氧水再加入鹽酸
: 這樣會不會產生化學反應?產生氯氣?
不會
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