作者razzmatazz (razzmatazz)
看板Chemistry
标题Re: [实验] 请问关於RCA Standard Clean 2 (SC-2， …
时间Tue Feb 12 19:58:20 2008
※ 引述《tinne (风翎)》之铭言：
: 请问各位,今天我要泡清洗Si晶圆的SC2溶液:
: HCl (37 wt%):H2O2 (31 wt%):H2O (DI Water) = 1：1：6
: 我印象中盐酸跟双氧水会产生氯气
: 不知道以上这个溶液 是不是在去离子水中加入双氧水再加入盐酸
: 这样会不会产生化学反应?产生氯气?
不会
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