作者tinne (風翎)
看板Chemistry
標題[實驗] 請問關於RCA Standard Clean 2 (SC-2，又稱HPM)
時間Mon Jan 28 11:51:59 2008
請問各位,今天我要泡清洗Si晶圓的SC2溶液:
HCl (37 wt%):H2O2 (31 wt%):H2O (DI Water) = 1：1：6
我印象中鹽酸跟雙氧水會產生氯氣
不知道以上這個溶液 是不是在去離子水中加入雙氧水再加入鹽酸
這樣會不會產生化學反應?產生氯氣?
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