作者tinne (风翎)
看板Chemistry
标题[实验] 请问关於RCA Standard Clean 2 (SC-2，又称HPM)
时间Mon Jan 28 11:51:59 2008
请问各位,今天我要泡清洗Si晶圆的SC2溶液:
HCl (37 wt%):H2O2 (31 wt%):H2O (DI Water) = 1：1：6
我印象中盐酸跟双氧水会产生氯气
不知道以上这个溶液 是不是在去离子水中加入双氧水再加入盐酸
这样会不会产生化学反应?产生氯气?
--
※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 140.114.82.199