作者dismisss (愛斯基摩人)
看板Chemistry
標題請問一下光阻
時間Sun Aug 13 11:18:54 2006
光阻的成份大都是碳氫化合物
現在市面上的正光阻 曝光+酸鹼中和
的化學平衡方程式要在那裡找 或是有人知道呀?
還有顯影液的成份大都是什麼(密度大概多少?)
謝謝~
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◆ From: 61.230.168.215
※ 編輯: dismisss 來自: 61.230.168.215 (08/13 11:19)
1F：→ ROGERTYC:我只知道光阻是強鹼和水的混合液,像是NaOH或KOH加水混合 08/17 22:27
2F：→ ROGERTYC:現在的話,是用一種叫TMAH的. 08/17 22:28