作者dismisss (爱斯基摩人)
看板Chemistry
标题请问一下光阻
时间Sun Aug 13 11:18:54 2006
光阻的成份大都是碳氢化合物
现在市面上的正光阻 曝光+酸硷中和
的化学平衡方程式要在那里找 或是有人知道呀?
还有显影液的成份大都是什麽(密度大概多少?)
谢谢~
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◆ From: 61.230.168.215
※ 编辑: dismisss 来自: 61.230.168.215 (08/13 11:19)
1F：→ ROGERTYC:我只知道光阻是强硷和水的混合液,像是NaOH或KOH加水混合 08/17 22:27
2F：→ ROGERTYC:现在的话,是用一种叫TMAH的. 08/17 22:28