1.一般半導體製程或光電元件製程皆會使用到黃光製程(微顯影製程), 請問黃光製程會使用到哪些化學藥品及溶劑? 這些化學藥品及溶劑對人體會造成什麼傷害？ 其廢棄物如何處理？ 而黃光製程機台,會對人體造成哪些可能的傷害？如何避免？ 2.一般IC製程中使用到許多特殊氣體, 一般IC製程中用到之毒性氣體有哪些？ 腐蝕性氣體有哪些？ 這些氣體應如何儲存？其管路設計安全上有哪些重點？ 另外,在製程中常使用到低揮發性氣體如SiCl4,其管路設備有什麼要特別注意的？ 3. 什麼是黃光製程? 幫人代PO問的 ....有人知道答案嗎??....有回答有感恩喔^^ --

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