作者geniuscan ()
看板Chemistry
标题[问题]about黄光制程
时间Sun Dec 11 15:04:29 2005
1.一般半导体制程或光电元件制程皆会使用到黄光制程(微显影制程),
请问黄光制程会使用到哪些化学药品及溶剂?
这些化学药品及溶剂对人体会造成什麽伤害？
其废弃物如何处理？
而黄光制程机台,会对人体造成哪些可能的伤害？如何避免？
2.一般IC制程中使用到许多特殊气体,
一般IC制程中用到之毒性气体有哪些？
腐蚀性气体有哪些？
这些气体应如何储存？其管路设计安全上有哪些重点？
另外,在制程中常使用到低挥发性气体如SiCl4,其管路设备有什麽要特别注意的？
3. 什麽是黄光制程?
帮人代PO问的 ....有人知道答案吗??....有回答有感恩喔^^
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