作者katpdorc (CY)
看板ChemEng
標題[問題] 氣體流量控制器顯示跳動
時間Thu Jan 24 11:04:42 2019
各位大大好
實驗室裡使用氫氣鋼瓶(上有調壓閥)然後連結精密流量控制器與BROOKS的流量器100sccm
目前的問題是，當我從控制器調整流量為100sccm時，左邊顯示實際流量總是會一直跳數字
，約+-20上下。
但是如果我是設定流量為10sccm時就不會有數字跳動問題。
目前想到可能的癥結點有三個：
1.精密流量器因為年久失修所以大流量會不準
2.鋼瓶調壓筏開太小(但我不確定要開多少，我調壓閥單位是psi)
3.氣體輸送管路的螺絲有鬆脫
請大大幫幫忙QAQ
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1F：推 JLH: 流量計有精準範圍 說明書會寫 42.75.230.60 01/24 12:32
2F：推 adaplant: Brooks 的 MFC 一般可用壓差範圍是 5~50 114.137.239.97 02/03 09:16
3F：→ adaplant: psi, 100 sccm 前後壓差有個 10 psi 就 114.137.239.97 02/03 09:16
4F：→ adaplant: 足夠 114.137.239.97 02/03 09:16
5F：→ adaplant: 如果你系統內是常壓 鋼瓶出口壓力不要超 114.137.239.97 02/03 09:17
6F：→ adaplant: 過 2 kg/cm^2 114.137.239.97 02/03 09:17
7F：→ adaplant: 或 30 psi 114.137.239.97 02/03 09:17