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各位大大好 实验室里使用氢气钢瓶(上有调压阀)然後连结精密流量控制器与BROOKS的流量器100sccm 目前的问题是,当我从控制器调整流量为100sccm时,左边显示实际流量总是会一直跳数字 ,约+-20上下。 但是如果我是设定流量为10sccm时就不会有数字跳动问题。 目前想到可能的症结点有三个: 1.精密流量器因为年久失修所以大流量会不准 2.钢瓶调压筏开太小(但我不确定要开多少,我调压阀单位是psi) 3.气体输送管路的螺丝有松脱 请大大帮帮忙QAQ --



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※ 文章网址: https://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/ChemEng/M.1548299085.A.8BD.html
1F:推 JLH: 流量计有精准范围 说明书会写 42.75.230.60 01/24 12:32
2F:推 adaplant: Brooks 的 MFC 一般可用压差范围是 5~50 114.137.239.97 02/03 09:16
3F:→ adaplant: psi, 100 sccm 前後压差有个 10 psi 就 114.137.239.97 02/03 09:16
4F:→ adaplant: 足够 114.137.239.97 02/03 09:16
5F:→ adaplant: 如果你系统内是常压 钢瓶出口压力不要超 114.137.239.97 02/03 09:17
6F:→ adaplant: 过 2 kg/cm^2 114.137.239.97 02/03 09:17
7F:→ adaplant: 或 30 psi 114.137.239.97 02/03 09:17







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