作者nick65415 (期待能翻身的鹹魚)
看板ChemEng
標題[製程] CMP製程overpolish的問題
時間Fri Jan 11 22:17:13 2019
各位先進好:
最近讀到半導體製程的CM部分。有提到(銅、鎢)CMP製程，當pattern密度比較高
時，會對底下的oxide有比較高的overpolish，請問原因是什麼?
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