作者cookieginger (薑餅乾)
看板ChemEng
標題[製程] 可以放入PECVD的耐熱夾
時間Wed Oct 19 01:30:56 2016
最近請別人幫忙代工PECVD鍍SiNx
自己對於CVD完全沒背景
鍍膜時需要使用一片不鏽鋼的遮罩
固定在1mm厚的玻璃基板上
用以定義鍍出來的SiNx面積
製成溫度攝氏300度
通入氣體有SiH4 以及氨氣
但是superuser不讓我使用真空耐熱膠帶固定遮罩
已試過用鋁箔包住遮罩以固定住->無法
用不鏽鋼的長尾夾(九成九買的)，superuser也不准
想先度整層膜再用負光阻以及遮罩定義出面積，也因爲自己家的光阻只耐100度，而熱磷酸有兩百度（還是其實不用加熱到這麼高溫）
現在superuser是說如果我可以找到化學用品的不鏽鋼夾子就可以放進去，她說九成九買的夾子就是非實驗器材，就是不能放
想請問大大們有沒有好的想法
感謝
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※ 發信站: 批踢踢實業坊(ptt.cc), 來自: 122.121.97.126
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1F：推 aoiogrean21: 我都是鍍完膜用光阻定義面積，接者111.246.206.11 10/19 10:39
2F：→ aoiogrean21: 用BOE蝕刻111.246.206.11 10/19 10:39
3F：→ cookieginger: 嗯嗯對啊但是我的基板是玻璃BOE不是會吃ㄇ223.138.83.32 10/19 12:45
4F：→ cookieginger: ？QQ223.138.83.32 10/19 12:45
※ 編輯: cookieginger (223.138.83.32), 10/19/2016 12:50:37
5F：→ aoiogrean21: SiN的秒數頂多1x秒，對康寧玻璃影響 101.12.100.221 10/19 16:31
6F：→ aoiogrean21: 不大 101.12.100.221 10/19 16:31
7F：推 aoiogrean21: 不好意思是相對，剛沒看到是1mm厚度 101.12.100.221 10/19 16:33
8F：推 lrm549: 化學用品的不鏽鋼夾子 那你就去找廠商阿 223.139.60.6 10/20 00:44
9F：→ lrm549: 他也不能說是搞你 單純減低外在影響因素 223.139.60.6 10/20 00:44
10F：→ cookieginger: 廠商都沒有專門用的耐熱夾子QQ 只有 140.116.35.140 10/20 12:16
11F：→ cookieginger: 一家說有不鏽鋼動脈夾可以讓我試試 140.116.35.140 10/20 12:16
12F：→ cookieginger: 看但是也沒有原廠的耐熱資料 只能知 140.116.35.140 10/20 12:16
13F：→ cookieginger: 道成分後去網路上查耐熱資料QQ 想問 140.116.35.140 10/20 12:16
14F：→ cookieginger: 真的沒有專門用的夾子嗎？ 一個名字 140.116.35.140 10/20 12:16
15F：→ cookieginger: 之類的QQ 140.116.35.140 10/20 12:16
16F：→ aoiogrean21: 建議不要看耐熱資料去判斷，在低壓下 101.12.100.113 10/20 13:26
17F：→ aoiogrean21: 不能保證常壓穩定的物質低壓也是，要 101.12.100.113 10/20 13:26
18F：→ aoiogrean21: 讓SiN有圖形靠蝕刻應該是最簡單的吧 101.12.100.113 10/20 13:26
19F：推 seii: 用銅線綁緊試試？ 223.137.211.13 10/22 19:12