作者cookieginger (姜饼乾)
看板ChemEng
标题[制程] 可以放入PECVD的耐热夹
时间Wed Oct 19 01:30:56 2016
最近请别人帮忙代工PECVD镀SiNx
自己对於CVD完全没背景
镀膜时需要使用一片不锈钢的遮罩
固定在1mm厚的玻璃基板上
用以定义镀出来的SiNx面积
制成温度摄氏300度
通入气体有SiH4 以及氨气
但是superuser不让我使用真空耐热胶带固定遮罩
已试过用铝箔包住遮罩以固定住->无法
用不锈钢的长尾夹(九成九买的)，superuser也不准
想先度整层膜再用负光阻以及遮罩定义出面积，也因爲自己家的光阻只耐100度，而热磷酸有两百度（还是其实不用加热到这麽高温）
现在superuser是说如果我可以找到化学用品的不锈钢夹子就可以放进去，她说九成九买的夹子就是非实验器材，就是不能放
想请问大大们有没有好的想法
感谢
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1F：推 aoiogrean21: 我都是镀完膜用光阻定义面积，接者111.246.206.11 10/19 10:39
2F：→ aoiogrean21: 用BOE蚀刻111.246.206.11 10/19 10:39
3F：→ cookieginger: 嗯嗯对啊但是我的基板是玻璃BOE不是会吃ㄇ223.138.83.32 10/19 12:45
4F：→ cookieginger: ？QQ223.138.83.32 10/19 12:45
※ 编辑: cookieginger (223.138.83.32), 10/19/2016 12:50:37
5F：→ aoiogrean21: SiN的秒数顶多1x秒，对康宁玻璃影响 101.12.100.221 10/19 16:31
6F：→ aoiogrean21: 不大 101.12.100.221 10/19 16:31
7F：推 aoiogrean21: 不好意思是相对，刚没看到是1mm厚度 101.12.100.221 10/19 16:33
8F：推 lrm549: 化学用品的不锈钢夹子 那你就去找厂商阿 223.139.60.6 10/20 00:44
9F：→ lrm549: 他也不能说是搞你 单纯减低外在影响因素 223.139.60.6 10/20 00:44
10F：→ cookieginger: 厂商都没有专门用的耐热夹子QQ 只有 140.116.35.140 10/20 12:16
11F：→ cookieginger: 一家说有不锈钢动脉夹可以让我试试 140.116.35.140 10/20 12:16
12F：→ cookieginger: 看但是也没有原厂的耐热资料 只能知 140.116.35.140 10/20 12:16
13F：→ cookieginger: 道成分後去网路上查耐热资料QQ 想问 140.116.35.140 10/20 12:16
14F：→ cookieginger: 真的没有专门用的夹子吗？ 一个名字 140.116.35.140 10/20 12:16
15F：→ cookieginger: 之类的QQ 140.116.35.140 10/20 12:16
16F：→ aoiogrean21: 建议不要看耐热资料去判断，在低压下 101.12.100.113 10/20 13:26
17F：→ aoiogrean21: 不能保证常压稳定的物质低压也是，要 101.12.100.113 10/20 13:26
18F：→ aoiogrean21: 让SiN有图形靠蚀刻应该是最简单的吧 101.12.100.113 10/20 13:26
19F：推 seii: 用铜线绑紧试试？ 223.137.211.13 10/22 19:12