作者chentingjiun (拉拉)
看板ChemEng
標題[問題] 蝕刻SiCN溶液配置
時間Thu Mar 3 17:48:11 2016
各位板上的大大們好
一般而言如果要蝕刻掉Si-N鍵結 使用磷酸就會有很好的效果
但是如果是含有碳的結構下,只使用磷酸卻不能使表面清潔乾淨
實驗結果是會有黑黑的結構殘存表面
因為本身不是化學背景 僅以一般做半導體常見的溶液去溶
嘗試了以HF溶解 以及 以HF和磷酸MIX溶解 的結果都不是太好
不知道有沒有建議的方向可以去嘗試
謝謝大家
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1F：→ YJM1106: 有碳，未看先推piranha solution 49.218.5.34 03/03 18:59