作者chentingjiun (拉拉)
看板ChemEng
标题[问题] 蚀刻SiCN溶液配置
时间Thu Mar 3 17:48:11 2016
各位板上的大大们好
一般而言如果要蚀刻掉Si-N键结 使用磷酸就会有很好的效果
但是如果是含有碳的结构下,只使用磷酸却不能使表面清洁乾净
实验结果是会有黑黑的结构残存表面
因为本身不是化学背景 仅以一般做半导体常见的溶液去溶
尝试了以HF溶解 以及 以HF和磷酸MIX溶解 的结果都不是太好
不知道有没有建议的方向可以去尝试
谢谢大家
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1F：→ YJM1106: 有碳，未看先推piranha solution 49.218.5.34 03/03 18:59