作者sambible (Sameal)
看板ChemEng
標題[問題] Parts及Chamber鍍Si
時間Mon Jul 27 14:50:02 2015
各位大大午安
小弟最近有聽到廠商說有一些機台的Parts跟Chamber上有Coating一層Si
請問有人知道這是什麼用途嗎?及用哪些機台及製程
謝謝
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1F：推 zovaca: 超耐磨，潤滑，耐高溫，精密度維持，可能 223.137.11.29 07/27 15:54
2F：→ zovaca: 是上DLC, SiC之類的 223.137.11.29 07/27 15:54