作者sambible (Sameal)
看板ChemEng
标题[问题] Parts及Chamber镀Si
时间Mon Jul 27 14:50:02 2015
各位大大午安
小弟最近有听到厂商说有一些机台的Parts跟Chamber上有Coating一层Si
请问有人知道这是什麽用途吗?及用哪些机台及制程
谢谢
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1F：推 zovaca: 超耐磨，润滑，耐高温，精密度维持，可能 223.137.11.29 07/27 15:54
2F：→ zovaca: 是上DLC, SiC之类的 223.137.11.29 07/27 15:54