作者q11010 (耳朵)
看板ChemEng
標題[材料] spin coating PMMA薄膜遇到困難
時間Thu Apr 24 17:57:58 2014
遇到悠關畢業的難題..
我的實驗需要鍍上一層PMMA薄膜做阻隔層
(阻隔第一層薄膜與溶液值接接觸)
我用甲苯溶2.5wt%PMMA 轉速2000rpm (後來有試過先300再2000)
靜置1小時候90度硬烤再140度軟烤各一小時
發現PMMA薄膜有大量的微米級孔洞平均散佈在薄膜上
且有不少約5~20微米的圓形狀隆起處(後來證實是隆起處未和下層薄膜接觸沒錯)
想請問造成大量孔洞的可能原因
(我用spin coating pmma hole uniform等關鍵字找不到相關文獻@@)
還有什麼比較好的關鍵字可以找
第二個問題是接觸角公式可以適用於甲苯和我的薄膜上嗎
他們的張力會影響到spin時的平整度嗎?
(因為我的薄膜可透過一些參數改變表面張力 不知道有沒有用)
感謝大家了..我們這區過去很少人使用高分子薄膜
所以想找相關資料都沒什麼人可以問 弄好久還是弄不好QQ
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1F：推 whale777:膜跟基材的附著力? 61.57.124.121 04/24 19:12
2F：推 KingOfNtust:表面張力 42.70.22.203 04/24 19:20
3F：→ q11010:因為有做熱處理 附著力是還不錯 134.208.4.237 04/24 20:18
4F：→ q11010:旦從OM來看 孔洞是spin上去時就有了 後烤無 134.208.4.237 04/24 20:19
5F：→ q11010:法消除. 134.208.4.237 04/24 20:19
6F：推 OhMyAlex:大概是表面沒洗乾淨 髒的點spin coating 61.70.240.205 04/27 00:22
7F：→ OhMyAlex:時就被繞過去 表面親和力不好很容易發生 61.70.240.205 04/27 00:22
8F：推 OhMyAlex:然後想問你說的接觸角公式是什麼? 61.70.240.205 04/27 00:24
9F：→ OhMyAlex:Young's eq.? Wenzel or Cassie model? 61.70.240.205 04/27 00:25
10F：→ mdi12345paul:試試看過濾好了~可能狀況會改善。 140.127.225.46 04/27 14:49
11F：推 jessti:表面不乾淨 1.170.133.167 04/27 16:14
12F：→ jessti:溶液要過小孔徑濾膜 1.170.133.167 04/27 16:15
13F：→ q11010:了解 我會重新檢討我試片清潔方式的 114.37.243.209 04/28 03:56
14F：→ q11010:接觸角就是把液體滴到薄膜後拍照算夾角的 114.37.243.209 04/28 04:02
15F：→ q11010:來判斷液體與固體親合性的那個..不知他正式 114.37.243.209 04/28 04:03
16F：→ q11010:名稱是什麼 114.37.243.209 04/28 04:03
17F：→ q11010:今天我發現問題的癥結點了 下面那層由PLD鍍 114.37.243.209 04/28 04:04
18F：→ q11010:的薄膜就已經有小孔了= = 然後spin無法填補 114.37.243.209 04/28 04:05
19F：→ q11010:我會被老師殺頭的 囧> 114.37.243.209 04/28 04:06
20F：→ q11010:在某個時間點後鍍的膜通通有均勻孔洞 見鬼 114.37.243.209 04/28 04:07