作者q11010 (耳朵)
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标题[材料] spin coating PMMA薄膜遇到困难
时间Thu Apr 24 17:57:58 2014
遇到悠关毕业的难题..
我的实验需要镀上一层PMMA薄膜做阻隔层
(阻隔第一层薄膜与溶液值接接触)
我用甲苯溶2.5wt%PMMA 转速2000rpm (後来有试过先300再2000)
静置1小时候90度硬烤再140度软烤各一小时
发现PMMA薄膜有大量的微米级孔洞平均散布在薄膜上
且有不少约5~20微米的圆形状隆起处(後来证实是隆起处未和下层薄膜接触没错)
想请问造成大量孔洞的可能原因
(我用spin coating pmma hole uniform等关键字找不到相关文献@@)
还有什麽比较好的关键字可以找
第二个问题是接触角公式可以适用於甲苯和我的薄膜上吗
他们的张力会影响到spin时的平整度吗?
(因为我的薄膜可透过一些参数改变表面张力 不知道有没有用)
感谢大家了..我们这区过去很少人使用高分子薄膜
所以想找相关资料都没什麽人可以问 弄好久还是弄不好QQ
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1F：推 whale777:膜跟基材的附着力? 61.57.124.121 04/24 19:12
2F：推 KingOfNtust:表面张力 42.70.22.203 04/24 19:20
3F：→ q11010:因为有做热处理 附着力是还不错 134.208.4.237 04/24 20:18
4F：→ q11010:旦从OM来看 孔洞是spin上去时就有了 後烤无 134.208.4.237 04/24 20:19
5F：→ q11010:法消除. 134.208.4.237 04/24 20:19
6F：推 OhMyAlex:大概是表面没洗乾净 脏的点spin coating 61.70.240.205 04/27 00:22
7F：→ OhMyAlex:时就被绕过去 表面亲和力不好很容易发生 61.70.240.205 04/27 00:22
8F：推 OhMyAlex:然後想问你说的接触角公式是什麽? 61.70.240.205 04/27 00:24
9F：→ OhMyAlex:Young's eq.? Wenzel or Cassie model? 61.70.240.205 04/27 00:25
10F：→ mdi12345paul:试试看过滤好了~可能状况会改善。 140.127.225.46 04/27 14:49
11F：推 jessti:表面不乾净 1.170.133.167 04/27 16:14
12F：→ jessti:溶液要过小孔径滤膜 1.170.133.167 04/27 16:15
13F：→ q11010:了解 我会重新检讨我试片清洁方式的 114.37.243.209 04/28 03:56
14F：→ q11010:接触角就是把液体滴到薄膜後拍照算夹角的 114.37.243.209 04/28 04:02
15F：→ q11010:来判断液体与固体亲合性的那个..不知他正式 114.37.243.209 04/28 04:03
16F：→ q11010:名称是什麽 114.37.243.209 04/28 04:03
17F：→ q11010:今天我发现问题的症结点了 下面那层由PLD镀 114.37.243.209 04/28 04:04
18F：→ q11010:的薄膜就已经有小孔了= = 然後spin无法填补 114.37.243.209 04/28 04:05
19F：→ q11010:我会被老师杀头的 囧> 114.37.243.209 04/28 04:06
20F：→ q11010:在某个时间点後镀的膜通通有均匀孔洞 见鬼 114.37.243.209 04/28 04:07