作者opticaa (zz)
看板ChemEng
標題[問題] 想請問SEM相關問題
時間Thu Apr 3 21:32:46 2014
大家好:
由於剛接觸SEM機台,有些問題想請教板上同學
(我所接觸的是場發射型的SEM)
1.在一開始時,我們要選取holder,我看軟體板面有6種讓我們選
上面分別是12.5mm,25mm及32mm,我想請問這個直徑我們所使用的
holder上面的直徑大小嗎? (因為下面底座放進chamber裡,這底座不是都該一樣大?)
那滑鼠選取不同holder直徑的用意是什麼?
2.想請問我們打sample放置在holder上時,會利用碳膠黏合,而有時又跟銅膠,
這兩種有差異嗎?
3.因為所拍攝的樣品為不導電材質,因此有先鍍金,操作員告訴我加速電壓
不要調太大,是因為要減少電荷累積效應嗎?
若是的話,那為何他將probe current 從7(原本設定)往上調,這樣不就
又增加電子束的流通量了嗎?
且解析度可能還會下降(這是爬文看到的)?
還是他們的調整是怎麼判定的?
因為是新手,有點搞不懂這些問題,不好意思,麻煩大家了!
謝謝大家!
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※ 文章網址: http://webptt.com/m.aspx?n=bbs/ChemEng/M.1396531969.A.317.html
1F：推 fisheater:3我猜應該是太高可能會傷害樣本 219.68.159.196 04/05 03:35
2F：→ fisheater:而且對於訊號的增加可能不見得有幫助 219.68.159.196 04/05 03:35
3F：推 maayaleaf:1.應該是工作距離吧 試片種類很多厚度也 121.224.16.115 04/14 15:55
4F：推 maayaleaf:不同 給你幾個選擇你會比較好調整 121.224.16.115 04/14 15:58
5F：→ maayaleaf:工作距離就是物鏡底部到試片表面的距離 121.224.16.115 04/14 15:58
6F：→ maayaleaf:2.價格不太相同 且銅膠導電性好一些 121.224.16.115 04/14 15:59
7F：→ maayaleaf:不過功能上應該差不多 121.224.16.115 04/14 15:59
8F：推 maayaleaf:3.加速電壓太高會有電荷累積、邊緣效應 121.224.16.115 04/14 16:09
9F：→ maayaleaf:試片損傷的問題 爾且容易產生多於訊號 121.224.16.115 04/14 16:09
10F：→ maayaleaf:多餘訊號 使微細結構觀察不到 121.224.16.115 04/14 16:11
11F：→ maayaleaf:至於probe current好像是對亮度有影響 121.224.16.115 04/14 16:12
12F：推 a9554626: 你們是不是用捷東的FE SEM? 140.127.27.198 08/27 14:30