作者opticaa (zz)
看板ChemEng
标题[问题] 想请问SEM相关问题
时间Thu Apr 3 21:32:46 2014
大家好:
由於刚接触SEM机台,有些问题想请教板上同学
(我所接触的是场发射型的SEM)
1.在一开始时,我们要选取holder,我看软体板面有6种让我们选
上面分别是12.5mm,25mm及32mm,我想请问这个直径我们所使用的
holder上面的直径大小吗? (因为下面底座放进chamber里,这底座不是都该一样大?)
那滑鼠选取不同holder直径的用意是什麽?
2.想请问我们打sample放置在holder上时,会利用碳胶黏合,而有时又跟铜胶,
这两种有差异吗?
3.因为所拍摄的样品为不导电材质,因此有先镀金,操作员告诉我加速电压
不要调太大,是因为要减少电荷累积效应吗?
若是的话,那为何他将probe current 从7(原本设定)往上调,这样不就
又增加电子束的流通量了吗?
且解析度可能还会下降(这是爬文看到的)?
还是他们的调整是怎麽判定的?
因为是新手,有点搞不懂这些问题,不好意思,麻烦大家了!
谢谢大家!
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※ 文章网址: http://webptt.com/cn.aspx?n=bbs/ChemEng/M.1396531969.A.317.html
1F：推 fisheater:3我猜应该是太高可能会伤害样本 219.68.159.196 04/05 03:35
2F：→ fisheater:而且对於讯号的增加可能不见得有帮助 219.68.159.196 04/05 03:35
3F：推 maayaleaf:1.应该是工作距离吧 试片种类很多厚度也 121.224.16.115 04/14 15:55
4F：推 maayaleaf:不同 给你几个选择你会比较好调整 121.224.16.115 04/14 15:58
5F：→ maayaleaf:工作距离就是物镜底部到试片表面的距离 121.224.16.115 04/14 15:58
6F：→ maayaleaf:2.价格不太相同 且铜胶导电性好一些 121.224.16.115 04/14 15:59
7F：→ maayaleaf:不过功能上应该差不多 121.224.16.115 04/14 15:59
8F：推 maayaleaf:3.加速电压太高会有电荷累积、边缘效应 121.224.16.115 04/14 16:09
9F：→ maayaleaf:试片损伤的问题 尔且容易产生多於讯号 121.224.16.115 04/14 16:09
10F：→ maayaleaf:多余讯号 使微细结构观察不到 121.224.16.115 04/14 16:11
11F：→ maayaleaf:至於probe current好像是对亮度有影响 121.224.16.115 04/14 16:12
12F：推 a9554626: 你们是不是用捷东的FE SEM? 140.127.27.198 08/27 14:30