作者ganlinlaumu (正港海綿體寶寶)
看板ChemEng
標題[問題] 有關接觸氫氟酸蒸氣的處理
時間Fri Jun 21 15:38:36 2013
最近發生一件事
一直困擾的小弟
前些日子
小弟帶著新進學弟做實驗
示範如何 利用DHF去除wafer表面氧化層
接著學弟自告奮勇要試試看
但一時警張手抖了一下
撒出約莫10cc以內的氫氟酸
沒有直接接觸到
撒出的氫氟酸很快地被抽風機的氣流帶走
問題來了 事後發現
抽風機根本沒有外接抽風管
所以根本沒有把氫氟酸排出
可能部分卡在抽風機內管壁部分又暴露在大氣內
被我們吸入體內
想請問這樣對身體有影響嗎?
感謝您
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