作者ganlinlaumu (正港海绵体宝宝)
看板ChemEng
标题[问题] 有关接触氢氟酸蒸气的处理
时间Fri Jun 21 15:38:36 2013
最近发生一件事
一直困扰的小弟
前些日子
小弟带着新进学弟做实验
示范如何 利用DHF去除wafer表面氧化层
接着学弟自告奋勇要试试看
但一时警张手抖了一下
撒出约莫10cc以内的氢氟酸
没有直接接触到
撒出的氢氟酸很快地被抽风机的气流带走
问题来了 事後发现
抽风机根本没有外接抽风管
所以根本没有把氢氟酸排出
可能部分卡在抽风机内管壁部分又暴露在大气内
被我们吸入体内
想请问这样对身体有影响吗?
感谢您
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