作者maryli (mary)
看板ChemEng
標題[問題] 請問Bubbler氣泡室和trans-LC潔淨的原理
時間Thu Jan 31 00:02:00 2013
在半導體製程參考書目上
書中提到爐管擴散製程中
液態trans-LC(C2CH2Cl2)置於氣泡室內
氮氣N2通入氣泡室將trans-LC帶走
trans-LC可以去除爐管金屬離子
請問其中的原理是甚麼?
謝謝
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