作者maryli (mary)
看板ChemEng
标题[问题] 请问Bubbler气泡室和trans-LC洁净的原理
时间Thu Jan 31 00:02:00 2013
在半导体制程参考书目上
书中提到炉管扩散制程中
液态trans-LC(C2CH2Cl2)置於气泡室内
氮气N2通入气泡室将trans-LC带走
trans-LC可以去除炉管金属离子
请问其中的原理是甚麽?
谢谢
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