作者Schmidt ()
看板ChemEng
標題[問題] 請問sputtering coating 跟spin coating
時間Fri Feb 13 17:48:08 2009
請問一定要用sputtering而不能用spin coating的理由有哪些啊？
又，有沒有數據統計過這兩種方法的uniformity的差異？
還有兩種方法被應用的厚度範圍大概在哪？
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◆ From: 118.169.200.202
1F：推 superkingkon:第一種 可以得到較純的相呀 02/13 21:46
2F：→ superkingkon:前項為物理 後項化學呀 02/13 21:47