作者Schmidt ()
看板ChemEng
标题[问题] 请问sputtering coating 跟spin coating
时间Fri Feb 13 17:48:08 2009
请问一定要用sputtering而不能用spin coating的理由有哪些啊？
又，有没有数据统计过这两种方法的uniformity的差异？
还有两种方法被应用的厚度范围大概在哪？
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◆ From: 118.169.200.202
1F：推 superkingkon:第一种 可以得到较纯的相呀 02/13 21:46
2F：→ superkingkon:前项为物理 後项化学呀 02/13 21:47