作者bobobox (bo)
看板ChemEng
標題[材料]有人自己架Atomic Layer Deposition(ALD)的經驗嗎?
時間Tue Dec 16 03:53:53 2008
因為老闆希望嘗試用ALD作一個新材料的passivation,
要求小的架一臺陽春版試作,若有不錯結果再行採買機臺
小的參考許多文獻架了兩個月後, 仍然pilot run後有很多問題
有沒有人有相關經驗, 或者可以告知那本書或文獻有ALD設計組裝的細節介紹?
實在作得心力交瘁, 卻沒有把握能成功試作出來...
感謝大家的幫忙!
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◆ From: 212.5.22.122
1F：推 homelock:MBE一類的? 12/21 20:16
2F：推 chenyppl:找CVD的相關書籍即可 差別只在進氣,抽氣的方式與順序 01/04 01:03