作者bobobox (bo)
看板ChemEng
标题[材料]有人自己架Atomic Layer Deposition(ALD)的经验吗?
时间Tue Dec 16 03:53:53 2008
因为老板希望尝试用ALD作一个新材料的passivation,
要求小的架一台阳春版试作,若有不错结果再行采买机台
小的参考许多文献架了两个月後, 仍然pilot run後有很多问题
有没有人有相关经验, 或者可以告知那本书或文献有ALD设计组装的细节介绍?
实在作得心力交瘁, 却没有把握能成功试作出来...
感谢大家的帮忙!
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※ 发信站: 批踢踢实业坊(ptt.cc)
◆ From: 212.5.22.122
1F：推 homelock:MBE一类的? 12/21 20:16
2F：推 chenyppl:找CVD的相关书籍即可 差别只在进气,抽气的方式与顺序 01/04 01:03